性能指标
 

电学测量指标：

● 包含一个电流电压测试单元；

● 电流测量z大±1.5 A，z小±100 fA；

● 电压输出z大±200 V，z小±100 nV；

● 自动电流-电压（I-V）测量、电流-时间（I-t）测量，自动保存。

扫描探针操作指标：

● 粗调范围：XY方向2.5 mm，Z方向1.5 mm；

● 细调范围：XY方向18 um，Z方向1.5 um；

● 细调分辨率：XY方向0.4 nm，Z方向0.04 nm。

光纤指标：

● 光纤外径250 um，保证电镜系统真空指标；

● 可选光纤探针、平头光纤、光纤透镜；

● 可选SMA接头、FC接头。

力学传感器指标：

● z大载荷100 mN（可选0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；

● 力测量实测噪声优于5nN（0.1 mN z大载荷时）；

● 力测量实测分辨率优于5 nN（0.1 mN z大载荷时）；

● 自动测量力-距离曲线，自动保存。